1500C Vakuum CVD Oven Deposisi Uap Kimia Multifungsi

                                                       Tungku pengendapan uap vakum

Vacuum Vapor Deposition Furnace 1500°C Vacuum Pump CVD Chemical Vapor Deposition Tube Furnace

Fitur utama:

Penggunaan tungku pengendapan uap: Tungku terpadu pengendapan uap kimia grafitisasi ini dapat digunakan untuk pengendapan uap kimia bahan komposit dengan gas drocarbon UND (seperti C3H8,dll) sebagai sumber karbon, seperti CVD, pengolahan CVI dari bahan komposit C/C, bahan komposit SiC, pengolahan karbonisasi permukaan dari bagian grafit, dan produksi graphene.

Tujuan dari tungku pengendapan uap:

Ini uap kimia depositasi grafitisasi integrasi tungku dapat digunakan untuk uap kimia depositasi bahan komposit dengan UND gas drocarbon (seperti C3H8, dll) sebagai sumber karbon,seperti CVD, pengolahan CVI dari bahan komposit C/C, bahan komposit SiC, pengolahan karbonisasi permukaan dari bagian grafit, dan produksi graphene.

Fitur tungku pengendapan uap:

Desain suhu tinggi multifungsi dapat mencapai deposisi uap kimia dan perawatan grafitisasi sekaligus.

Suhu operasi setinggi 2600, dan dapat beroperasi stabil dan dapat diandalkan untuk waktu yang lama.

Sistem konversi otomatis pengukuran suhu dikombinasikan dengan termokopel dan termometer inframerah dapat mewujudkan tampilan dan kontrol dari seluruh rentang suhu.

Sistem kontrol konversi frekuensi pemanasan induksi menggunakan IGBT sebagai perangkat daya utama membuat peralatan hemat energi dan hemat daya,dengan komponen harmonik kecil dan tidak mengganggu peralatan eksternal.

Tampilan aliran yang tepat dan kontrol gas masuk dan keluar memastikan stabilitas produk.

Ruang deposisi struktur khusus digunakan, yang memiliki efek penyegelan yang baik dan kemampuan anti polusi yang kuat

Jalur gas deposisi multi-saluran digunakan, medan aliran seragam, tidak ada sudut mati deposisi, dan efek deposisi baik;

Sistem filtrasi khusus dapat secara efektif mengobati tar, debu padat, gas organik, dll yang dihasilkan selama proses deposisi karbon;

Parameter teknis dari tungku pengendapan uap: