| Ukuran area kerja (diameter * tinggi mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Vakum akhir (Pa) | 1*10- 41 kali 10-3 | 1*10- 41 kali 10-3 | 1*10- 41 kali 10-3 |
| Suhu maksimum (°C) | 2400 2500 | 2400 2500 | 2400 2500 |
| Persamaan suhu (°C) | ± 7.5 | ± 7.5 | ±7,5 ±10 |
| Tingkat kenaikan tekanan (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |